WF6 se používá hlavně jako surovina pro proces chemického nanášení z plynné fáze (CVD) kovového wolframu v elektronickém průmyslu. WSi2 vyrobený z WF6 lze použít jako materiál pro elektroinstalaci ve velkých integrovaných obvodech (LSI) a také jako surovinu pro polovodičové elektrody, fluor, surovinu pro chemická činidla, polymerizační katalyzátory, optické materiály atd.